高效過濾器檢漏 一、說明 過濾網(wǎng)的泄漏測試應(yīng)當(dāng)是無塵室測試中，最復(fù)雜、最耗時間的測量項(xiàng)目。
泄漏測試的目的，是要確認(rèn)： 1. 濾網(wǎng)的材料無破損， 2. 安裝恰當(dāng)。
濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過泄漏測試，但是在搬運(yùn)與安裝過程難保完全無損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無任何泄漏。
另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會從邊框漏進(jìn)無塵室風(fēng)口。
就算是 FFU 系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會產(chǎn)生問題。
因此，邊框掃描一樣重要。
濾網(wǎng)泄漏測試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。
泄漏測試有幾種不同的方式，適用在不同的場合。
測試方式有： 1. 氣膠光度計(jì)測試法， 2. 微粒計(jì)數(shù)器測試法， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法。
后兩種現(xiàn)在使用非常少。
? 二、方法 氣溶膠光度計(jì)測試法 氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：茫浇裉烊耘f沿用。
氣膠光度計(jì)（ Aerosol Photometer ）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。
DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來模擬無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
微粒計(jì)數(shù)器測試法 半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。
經(jīng)過科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn) PSL 因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。
使用時只要把 PSL 溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可 ? PAO/DOP過濾器檢漏 一. 說明 氣膠光度計(jì)測試法是最早期的測試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：茫浇裉烊耘f沿用。
氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。
DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
1 泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬分之一，由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。
也正因其準(zhǔn)確、可靠，美國食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場所與醫(yī)療制藥場所），所有的濾網(wǎng)泄漏測試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。
近年來由于人們懷疑DOP會導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。
PAO和DOP的特性類似，使用上無多大差異。
二. 測試儀器 1 本測試法使用儀器為氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）與微粒產(chǎn)生器（Aerosol Generator）。
氣膠光度計(jì)的顯示版有模擬與數(shù)字兩種，每年必須校正一次。
微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。
三. 測試方式 濾網(wǎng)泄漏測試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測，其步驟說明如下 在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號。
確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。
微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。
微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算，再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。
上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準(zhǔn)確 在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長/短邊迂回檢測. ? 潔凈度測試 一、說明 潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認(rèn)無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項(xiàng)測試都通過之后。
潔凈度測試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測試。
二、測試儀器 潔凈度測試使用微粒計(jì)數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報告時須附合格之校正文件。
微粒計(jì)數(shù)器有不同規(guī)格，最常見的是流量 1cfm ，最小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。
至于應(yīng)使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。
一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計(jì)數(shù)器。
Class 1000 或更高： 0.5μm Class 100 ： 0.3μm ，0.5um Class 1 到 Class 10 ：0.1μm 若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過單一微粒計(jì)數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計(jì)數(shù)器。
目前市面上少見立方公尺的微粒計(jì)數(shù)器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。
單位換算，不影響上限的計(jì)算程序。
三、測試步驟： (1) 確定空調(diào)系統(tǒng)之測試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。
(2) 確認(rèn)測試位置與測試點(diǎn)數(shù)。
(3) 取樣時間：每點(diǎn)的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。
(4) 測試位置應(yīng)均勻分布在無塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當(dāng)之架臺支撐，不可以手持支撐。
(5) 測量點(diǎn)數(shù)以公式計(jì)算（與 209E 相同）。
四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)： 潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒測量平均值必須低于規(guī)定值。
潔凈度的第二個驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規(guī)定值。
? 風(fēng)速及平衡性測試 一、測試目的 氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。
因此風(fēng)速測量，都是放在無塵室測試的第一步。
風(fēng)速測量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。
在某些場合可能因現(xiàn)場的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。
非單一流向型無塵室，由于微?？刂频挠^念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。
但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測量。
二、 使用儀器 無塵室里面使用的 HEPA/ULPA 濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在 0.5m/s 以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。
濾網(wǎng)風(fēng)速測量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。
也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如 Shortridge Velgrid 16 點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。
輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無塵室內(nèi)使用。
熱線式風(fēng)速計(jì)（ Hot Wire ）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時 〈 0.5m/s 以下 〉 準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是 Thermeister 式風(fēng)速計(jì)。
轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題，也不適用低速。
檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。
深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國TSI（美國特塞）授權(quán)全國金牌代理商,經(jīng)營TSI全套產(chǎn)品,包括：美國TSI塵埃粒子計(jì)數(shù)器/美國TSI粉塵儀/美國TSI風(fēng)速儀/美國TSI風(fēng)速傳感器/美國TSI風(fēng)量罩/美國TSI壓差計(jì)等/美國TSI室內(nèi)空氣品質(zhì)儀（含VOC/CO/CO2）/美國TSI流量計(jì)/美國TSI超細(xì)粒子計(jì)數(shù)器,以及GE等，服務(wù)熱線：400-888-7926 三、 測試步驟 (1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。
(2) 取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。
(3) 每一個濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每 1 平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每 4 平方英尺取一點(diǎn)。
(4) 每測量點(diǎn)必須取 5 秒的平均。
(5) 依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。
(6) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
重要的是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。
四、數(shù)據(jù)分析 風(fēng)速測量很簡單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。
均勻度是由相對標(biāo) 準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。
1. 平均值：2. 標(biāo)準(zhǔn)差 ? 風(fēng)量及平衡性測試 一、說明 風(fēng)量測量的目的通常是用來計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無塵室，或是測量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時使用。
只有在無法使用氣罩的場合（氣罩體積較大，有時會受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來換算風(fēng)量。
使用風(fēng)速換算風(fēng)量時，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。
在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。
同樣氣罩通?？梢詼y量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。
須注意的是反向測量時，其測量范圍通常會降低。
二、測試儀器 風(fēng)量測量應(yīng)當(dāng)使用氣罩（ Flow Measuring Hood ），氣罩的測量范圍是 15~2500 cfm ，精確度要求為讀數(shù)的 ±3% 。
由于氣罩本身會產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。
若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對。
氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。
檢驗(yàn)時必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟： (1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號。
(2) 使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測量與計(jì)錄。
(3) 依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測試點(diǎn)。
(4) 記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。
四、 數(shù)據(jù)分析： 風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對標(biāo)準(zhǔn)差來代表，其計(jì)算步驟如下。
1.平均值：將所有風(fēng)測量量值取算數(shù)平均 2. 標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)測量量值的標(biāo)準(zhǔn)差 ? 壓差測試 一、 說明 壓力測量的目的是確認(rèn)無塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。
無塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個 common sense ，在 209 的舊版本中，正壓有建議值，但是后來就取消了。
目前常見的正壓值約是 10 到 25 Pascal 之間。
壓力測量的時機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測試結(jié)束之后立即測量，尤其不可在潔凈度測量完畢之后才測量壓力。
因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。
測量時，所有門窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
二、測試儀器 壓力測量可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要測量范圍與精確度滿足要求即可。
壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的 ±5% ，測量范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測量。
儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測前及交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟 必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測試完成后，才能測試壓力，并且排氣與 MAU 要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
全部門與開口都要關(guān)閉。
室外大氣壓力假設(shè)為 0.0mmAq 表壓力。
測定潔凈區(qū)域與相鄰較次級潔凈區(qū)域之壓差，再測量房間與 Gowning room 之間壓差，最后測量 Gowning room 與外部之壓差。
建議壓差值為 5~12Pa ，并無強(qiáng)制規(guī)定。
記錄所有數(shù)值。
? 溫濕度檢測 一、說明 溫濕度測量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對微?？刂茮]有甚么影響，因此溫濕度測試屬于第三級測試（ Level 3 ）。
但是因無塵室多半同時也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測量了。
溫濕度測量又分為一般測量和進(jìn)階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般測量只是測量溫濕度在測量點(diǎn)的實(shí)時數(shù)據(jù)（單一測數(shù)據(jù)），適用在對溫濕度要求不高的場所。
進(jìn)階測量就要紀(jì)錄在測量點(diǎn)一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時間的變化情形，以確認(rèn)濕度在控制之下。
進(jìn)階測量適用在對溫濕度要求比較高的場所。
二、測試儀器： 常見的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般測量和進(jìn)階測量使用儀器的精度相同，溫度測量范圍是 0-100 ℃ ，精確是 ±0.2 ℃ 。
濕度測量范圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，精確度是 ±2 ﹪ 。
一般測量要求溫度之顯示值可顯示 0.1 ℃ 的變化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。
進(jìn)階測量則要求溫度之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變化，濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。
檢測儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試程序： 確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測試、調(diào)整、平衡。
空調(diào)系統(tǒng)測試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測試。
依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn) 24 小時以上。
測試點(diǎn)數(shù)為每個房間至少量一點(diǎn)，并且每個溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個 Dry Coil 的控制范圍要量一點(diǎn)，測量高度為 ( 高架 ) 地板上 1.00m 。
將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開始記錄。
? 光照度測試 一、測前準(zhǔn)備 潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成 測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成 二、測試目的 此檢測動作在于確認(rèn)無塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
三、測試儀器 專業(yè)照度儀 四、測試步驟 無塵室光源至少使用100小時以上，測試前需點(diǎn)亮2小時以上。
確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號。
將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測10秒記錄。
? 噪音度測試 一、檢測準(zhǔn)備 竣工圖面（初版）與相關(guān)規(guī)范確認(rèn) 潔凈室所有開孔皆需封閉氣密處理完成。
測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成。
二、測試目的 此檢測動作在于確認(rèn)無塵室噪音是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。
三、測試儀器 專業(yè)噪音儀 四、測試位置 每40m2取1點(diǎn)為量測點(diǎn)，另針對業(yè)主要求局部增加測試點(diǎn)數(shù)。
五、測試步驟： a.無塵室所有空調(diào)設(shè)備及公用設(shè)備均為運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
b.確認(rèn)測試點(diǎn)及配置圖編號。
c.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測10秒后記錄最大值。
? 氣流流向檢測 一、 測試目的 平行度測量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動模式，同時也可以觀察儀器設(shè)備對氣流的影響。
平行度測量應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測試完畢且通過之后進(jìn)行，過早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)。
二、 測試方法 一般而言平行度的測量，是由肉眼觀察所決定。
使用的工具包括煙霧、水霧、 PFA 、和輕質(zhì)棉線。
。
煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動模式。
但是其共同問題是滯空性不足，觀測時間太短。
測量平行度需要花一些時間，因此需要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造成污染。
另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測量氣流平行度。
在無塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無塵室平行度測量。
測量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。
三、測試儀器 1. 支架 2. 鉛垂線 3.Flo-Viz 細(xì)線 4 .氣流流向檢測儀 四、測試步驟 1. 用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。
2. 將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會隨空氣流向飄移。
計(jì)算偏移角 =tan-1( 懸吊線徧移量 /1220) 。
6. 每 3m×3m 區(qū)域量 1 點(diǎn)。
若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動到與煙霧相接觸，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。
? 地板導(dǎo)電檢測 一、測試介紹 導(dǎo)電度可視為電流流經(jīng)或繞過某物體之容易程度 (relative ease) ，電阻的倒數(shù)即導(dǎo)電度 二.、測量目的 測量地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間 (Floor Point to Point) 的電阻，和地板與大地間 (Floor to Ground) 的電 阻 三、Point to Point 檢測過程 溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格 每組數(shù)據(jù)需使用兩個電極 電阻計(jì)之開路電壓為 500 奧姆，內(nèi)阻至少 100000 奧姆 每個無塵室至少量 5 組數(shù)據(jù)，取平均值 四、Floor to Ground 檢測過程 這是測量無塵室地板與接地電極間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。
溫濕度需已經(jīng)測試調(diào)整合格 電阻計(jì)兩端的電極，一個接在地板上，另一個連在最接近的建筑物柱子上 測量位置由 Owner 指定，應(yīng)有 20 個位置 每位置取不同的 5 點(diǎn)測量，再取平均值 平均之電阻應(yīng)小于一百萬歐姆 所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報告中 ? 自凈能力檢測 一、測試目的 確認(rèn)在無塵室釋放顆粒后，測量在多少時間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。
二、測試儀器 顆粒測試儀（品牌 MET ONE），型號：3313、2100、顆粒釋放器。
三、測試位置 任意抽取測量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測試點(diǎn)。
四、測試步驟 在測試開始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個穩(wěn)定的水平。
在抽取的測量點(diǎn)放好顆粒計(jì)數(shù)器，先做顆粒潔凈度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測試數(shù)分鐘，待取一個穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時，再將該房間的整個空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。
在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。
此時再啟動空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時間 ? 靜電檢測 一、測試目的 靜電問題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問題。
微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會變成非常難處理的問題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀住?br>另外在無塵室里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。
靜電測試的目地是測量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿真物體在該氣流場中之殘余表面電壓。
二、 測試程序 于無塵室內(nèi)離地 32 英吋 (813 mm) 處，測量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。
測量點(diǎn)數(shù)： 10 個，或由業(yè)主自己決定。
在同一位置做殘余電壓測試。
? 深圳市億天凈化技術(shù)有限公司是美國TSI（美國特塞）授權(quán)全國金牌代理商,經(jīng)營TSI全套產(chǎn)品,包括：美國TSI塵埃粒子計(jì)數(shù)器/美國TSI粉塵儀/美國TSI風(fēng)速儀/美國TSI風(fēng)速傳感器/美國TSI風(fēng)量罩/美國TSI壓差計(jì)等/美國TSI室內(nèi)空氣品質(zhì)儀（含VOC/CO/CO2）/美國TSI流量計(jì)/美國TSI超細(xì)粒子計(jì)數(shù)器,以及GE等，服務(wù)熱線：400-888-7926 相關(guān)新聞推薦 化妝品潔凈車間工程設(shè)計(jì)與安裝管理最全方案塵埃粒子計(jì)數(shù)器的工作流程GMP認(rèn)證潔凈車間制藥用水要求傳遞窗簡介和作用疾控中心潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)潔凈室照明燈具的選材及配置清潔級實(shí)驗(yàn)動物房的設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)規(guī)范與標(biāo)準(zhǔn)超純水配管工藝潔凈室水和氣體的凈化實(shí)驗(yàn)室靜電防護(hù)的常用措施純水技術(shù)——水質(zhì)純化方法濕熱滅菌器被滅菌物品潮濕（水珠）的形成原因與對策潔凈室消毒臭氧量的計(jì)算某TFT廠房工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)設(shè)計(jì)的思考超凈工作臺工作原理及使用方法